Rubber bonding产品
特征:超强抗腐蚀能力和超高的洁净度,低金属离子含量、低放气率、低析出物,与金属骨架粘合成组合件。
用途:适用于要求高洁净度和可靠密封性能的半导体设备,优异的耐化学介质性能。应用于耐腐蚀密封、离子沉积工艺过程中
对象装置:镀铜、刻蚀、CVD、PVD
具体牌号:T7502、TG160、TG17