耐高温材质
特征：具备300℃以上的耐热能力，同时具备良好的耐腐蚀能力和机械性能。
用途：适用于半导体氧化、扩散、外延等超高温系统的工作环境
对象装置：刻蚀、扩散、外延、LPCVD、RTP等超高温装置
具体牌号：TG750、TG160、TG170、TG180
当前位置： 
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