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耐超高温FFKM

耐高温材质 

特征：具备300℃以上的耐热能力，同时具备良好的耐腐蚀能力和机械性能。

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耐超高温FFKM




・用途：适用于半导体氧化、扩散、外延等超高温系统的工作环境

・对象装置：刻蚀、扩散、外延、LPCVD、RTP等超高温装置

・具体牌号：TG750、TG160、TG170、TG180


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