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耐等离子FFKM

耐等离子材质 

特征：等离子腐蚀已成为影响密封圈寿命的关键因素。该系列产品具备超强的耐等离子体性能，极低的颗粒生成量，从而大大提高晶圆良率。

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耐等离子FFKM




用途：半导体制造装置中，暴露于腐蚀性化学品和等离子的工作环境

对象装置：刻蚀、CVD、PVD等装置

具体牌号：TG750、T83、T315、T320


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