Jp

当前位置: 首页 > 产品信息 > 半导体应用 > FFKM 全氟醚橡胶圈 > 氧化、扩散

氧化、扩散

特征:耐氧,耐氟,广泛的耐化学性,高洁净度

用途:半导体和液晶制造装置中,暴露于腐蚀性化学品和等离子的工作环境

对象装置:CVD装置、PVD装置、刻蚀,清洗装置

氧化、扩散

相关推荐